База данных применения химических эффектов
основана на ТРИЗ (теория решения изобретательских задач)

На главную страницу | О проекте | Контакты

Вы находитесь здесь: dace.ru / Новости химии / Рентгеновские лучи следят за быстрым травлением

Архивы новостей:
2008 год: январь, февраль, март, апрель, май, июнь, июль, август, сентябрь, октябрь, ноябрь, декабрь
2009 год: январь, февраль, март, апрель, май, июнь, июль, август, сентябрь, октябрь, ноябрь, декабрь
2010 год: январь, февраль, март, апрель, май, июнь, июль, август, сентябрь, октябрь, ноябрь, декабрь
2011 год: январь, февраль, март, апрель, май, июнь, июль, август, сентябрь, октябрь, ноябрь, декабрь
2012 год: январь, февраль, март, апрель, май, июнь, июль, август, сентябрь, октябрь, ноябрь, декабрь
2013 год: январь, февраль, март, апрель, май, июнь, июль, август, сентябрь, октябрь, ноябрь, декабрь
2014 год: январь, февраль, март, апрель, май, июнь, июль, август, сентябрь, октябрь, ноябрь, декабрь
2015 год: январь, февраль, март, апрель, май, июнь, июль, август, сентябрь, октябрь, ноябрь, декабрь
2016 год: январь, февраль, март, апрель, май, июнь, июль, август, сентябрь, октябрь, ноябрь, декабрь
2017 год: январь, февраль, март, апрель, май, июнь, июль, август, сентябрь, октябрь, ноябрь, декабрь
2018 год: январь, февраль, март, апрель, май, июнь, июль, август, сентябрь, октябрь, ноябрь, декабрь
2019 год: январь, февраль, март, апрель, май, июнь, июль, август, сентябрь, октябрь, ноябрь, декабрь
2020 год: январь, февраль, март, апрель, май, июнь, июль, август, сентябрь, октябрь, ноябрь, декабрь
2021 год: январь, февраль, март, апрель, май, июнь, июль, август, сентябрь, октябрь, ноябрь, декабрь
2022 год: январь, февраль, март, апрель, май, июнь, июль, август, сентябрь, октябрь, ноябрь, декабрь
2023 год: январь, февраль, март, апрель, май, июнь, июль, август, сентябрь, октябрь, ноябрь, декабрь
2024 год: январь, февраль, март, апрель, май, июнь, июль, август, сентябрь, октябрь, ноябрь, декабрь
2025 год: январь, февраль, март, апрель, май, июнь, июль, август, сентябрь, октябрь, ноябрь, декабрь
2026 год: январь, февраль, март, апрель, май, июнь, июль, август, сентябрь, октябрь, ноябрь, декабрь

Рентгеновские лучи следят за быстрым травлением

Исследователи под руководством физика из Киля Олафа Магнуссена (Olaf Magnussen) выяснили, какие химические процессы протекают при травлении материалов или нанесения на них защитных и/или декоративных покрытий.

Исследователи из Университета Кристиана-Альбертса (Киль) совместно со специалистами из Европейского центра синхротронного излучения (ESRF, Гренобль, Франция) впервые выяснили, что происходит при производстве металлических контактов, толщина которых значительно уступает толщине человеческого волоса – именно такие контакты применяются в современной электронике и компьютерной технике.

Графическое представление эксперимента. Рентгеновское излучение бомбардирует растворяющуюся поверхность из золота. Детектор рентгеновского излучения улавливает отраженный луч. Выводы об изменениях, проходящих с поверхностью металла, делаются на основании зависимости изменения интенсивности отраженного луча от времени.

Графическое представление эксперимента. Рентгеновское излучение бомбардирует растворяющуюся поверхность из золота. Детектор рентгеновского излучения улавливает отраженный луч. Выводы об изменениях, проходящих с поверхностью металла, делаются на основании зависимости изменения интенсивности отраженного луча от времени.
(Рисунок из J. of the Am. Chem. Soc., 2011; 133 (11): 3772)


При проведении исследований была задействована экспериментальная установка высокоинтенсивного излучения ID32. Рентгеновский луч направляли непосредственно на поверхность золота, медленно растворявшуюся в разбавленной соляной кислоте. Поскольку интенсивность отраженных рентгеновских лучей зависит от незначительных изменений, происходящих на поверхности материала, скорость и степень удаления металла в процессе реакции можно измерить на количественном уровне.

Ранее исследование такого типа можно было осуществлять лишь для очень медленного изменения материала, в то время, как для того, чтобы следить за быстрыми процессами, реально протекающими в промышленности, скорость измерения должна была быть увеличена более, чем 100 раз. Исследователи из группы Магнуссена обнаружили, что даже при быстром травлении удаление атомов металла с поверхности протекает с большой степенью однородности – атомный слой за атомным слоем без образования глубоких дыр в материале. Как выяснили исследователи, аналогично протекает присоединение атомов к поверхности в ходе нанесения на материалы химического покрытия.

Химическое травление и нанесение покрытий применяется во многих областях, в том числе и таких тонких, как производство электронных приборов. Эти реакции, требующие особо точного контроля, интенсивно изучаются во всем мире. Новый аналитический метод, разработанный исследователями из Киля и ESRF, позволяет следить за изменениями поверхности, протекающими за тысячные доли секунды, малейшие изменения поверхности на атомном уровне, могут быть отслежены в режиме реального времени.

Источник: J. of the Am. Chem. Soc., 2011; 133 (11): 3772; DOI: 10.1021/ja1115748

Источник: http://www.chemport.ru
28.03.2011 00:17




dace.ru © 2005-2026 гг.
Сделано dkos.ru